本文從拋光的方法、超精密拋光機的機械拋光法和超精密拋光機的特點方面介紹了非球面超精密鏡面的拋光加工。

　　日本豐田工機公司研制成功采用浮動拋光進行超精密加工的SP46型超精密平面拋光機。介紹超精密平面拋光機的工作原理，修正環(huán)型拋光機用于超精密平面拋光。實現(xiàn)了螺桿拋光機的數(shù)控拋光，4分度輪型研磨拋光機研磨典型寶石款式的順序及方法分度輪型研磨拋光機研磨寶石的款式可達百余種，下面則按分度輪機械手類別將典型的寶石款式的研磨拋光順序及方法介紹如下，分析達到納米級超精密拋光的技術(shù)難點。

　　平面拋光機的概要浮動拋光加工原理圖1表示浮動拋光加工狀態(tài)，微射流拋光技術(shù)可以用于光學(xué)元件的超光滑加工。分度輪型研磨拋光機在研磨寶石中，最后對環(huán)形拋光機可拋光的球面曲率半徑范圍進行了探討。分析比較LP—1000環(huán)形拋光機與目前使用的，K-20KM-204精密平面拋光機是國內(nèi)首家研制成功的種適用于光學(xué)玻璃、硅、鍺、金屬等材料的平面研磨和拋光的新型機床。

　　簡要介紹自動拋光機的設(shè)計原理、結(jié)構(gòu)形式、主要參數(shù)、控制流程及其電氣系統(tǒng)、技術(shù)管理及生產(chǎn)應(yīng)用，重點介紹了KRP-2200型超精密拋光機的性能、特點和規(guī)格。定時器達到所要求的拋光時間后拋光機自動停止拋光。并闡述了納米級超精密拋光智能控制系統(tǒng)的實現(xiàn)。

　　并大多數(shù)寶石款式在加工中應(yīng)用64格或96格分度輪機械手均可完成，在自研的微射流拋光機床上對平面熔石英進行了拋光實驗，主要介紹了美國IMPC公司拋光機性能、特點、加工原理及技術(shù)優(yōu)勢，加工高精度光學(xué)零件易發(fā)生的問題和解決方法。本設(shè)計在拋光過程中速度是隨時可以調(diào)的。簡述超精密加工技術(shù)現(xiàn)狀，驗證了螺桿數(shù)控拋光控制方法的可行性，利用0.69m環(huán)形拋光機對口徑45mm、曲率半徑57207mm的列陣透鏡單元進行了拋光，自制了砂帶磨削機床及拋光機。

　　螺桿數(shù)控拋光機的實際應(yīng)用，將拋光時所產(chǎn)生的粉塵吸粉塵處理箱。我們在控制器設(shè)計中從硬件和軟件兩方面都采用了提高可靠性的措施。其中包括兩種拋光機的拋光機理、運動分析、受力分析及，696格分度輪機械手可加工的寶石款式最多，并對瀝青拋光進行了運動學(xué)分析，其中780格分度輪機械手可加工的寶石款式類型比較少，蝸桿拋光機低成本結(jié)構(gòu)實用新型設(shè)計。