日本豐田工機公司研制成功采用浮動拋光進行超精密加工的SP46型超精密平面拋光機。實現了工件表面的超精密雙面拋光加工。介紹超精密平面拋光機的工作原理。

　　以便進行拋光板的平面度控制，對種功能陶瓷進行了平面拋光實驗。平面拋光機的概要浮動拋光加工原理圖1表示浮動拋光加工狀態。環形拋光機用于精密光學平面的精拋光，以石英玻璃為對象進行雙面拋光加工實驗。

　　并對該數控轉子拋光機的機械和電氣部分的設計進行了分析。K-20KM-204精密平面拋光機是國內首家研制成功的種適用于光學玻璃、硅、鍺、金屬等材料的平面研磨和拋光的新型機床。對修正環形拋光機定偏心和不定偏心平面研磨進行了運動分析，并分析了修整環型拋光機拋光過程中工件材料的去除函數。

　　對般情況下拋光機工作時的噪聲與水下工作時拋光機的噪聲進行了試驗測量。分析達到納米級超精密拋光的技術難點，進行了直線軌道式化學機械拋光機機械本體及相關零部件的設計工作，精密光學平面制造技術研究。研制了種采用專家數據庫智能控制系統的納米級超精密平面拋光機。

　　陶瓷拋光機作為瓷磚深加工過程中的主要加工設備。分析了多轉速拋光機結構和原理。在此基礎上設計了適用于拋光機調速系統的模糊PID控制器。

　　針對建筑陶瓷拋光機噪聲產生的原因進行了分析，需對拋光機的運行機理和主傳動系統進行分析，全自動砂帶拋光機是專門用于汽車汽門小徑外圓的拋光，并闡述了納米級超精密拋光智能控制系統的實現，并包括砂帶磨、珩磨機、研磨機、拋光機、超精機、砂輪機和粗磨床，磨床是種以磨料磨具為切削工具對工件進行磨削加工的種金屬切削機床。簡述超精密加工技術現狀，加水可以降低陶瓷拋光機加工時的噪聲。是種新型的光學拋光設備。

　　對轉子拋光機的數控化改進、綠色設計的應用進行了技術總結。本文研制的雙面拋光機在總結了國內外雙面拋光機設備的基礎上，最后在新研制的超精密雙面拋光機上。這種拋光機以0—150轉/分進行變速轉動。

　　拋光部分平面。對機械結構進行優化設計和研究。